激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、最高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現線(xiàn)性測長(cháng)、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測量軟件配合下，可實(shí)現線(xiàn)性位移、角度和直線(xiàn)度的動(dòng)態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅動(dòng)系統的響應特性分析等。
激光干涉儀典型的應用就是測量機床精度，本文講解如何使用激光干涉儀測量五軸機床平移軸直線(xiàn)度誤差。
對于平移軸而言，每根軸均有兩個(gè)直線(xiàn)度誤差，因此三根軸有六個(gè)直線(xiàn)度誤差，均可采用激光干涉儀分別測得。
原理：帶有圓孔的是直線(xiàn)度干涉鏡，其與待測軸相連一同運動(dòng);長(cháng)條鏡是直線(xiàn)度反射鏡靜止安裝，其是對稱(chēng)結構，上下左右均對稱(chēng)。當一束激光從源頭發(fā)出射入干涉鏡，干涉鏡將光束分成兩束，形成一個(gè)很小的角度分別去往反射鏡，由于反射鏡上下對稱(chēng)，因此兩束光被反射后又回到干涉鏡，匯合成一股光束，去往激光頭的探測器。當運動(dòng)軸產(chǎn)生直線(xiàn)度誤差時(shí)，會(huì )使得干涉鏡相對于反射鏡在水平橫向方向發(fā)生相對運動(dòng)，而反射鏡是左右對稱(chēng)的(左右的鏡片不在同一平面，有一定的角度)，因此會(huì )使得兩束分開(kāi)的光束光程具有差別，根據此差別，即可測得運動(dòng)軸產(chǎn)生的直線(xiàn)度誤差。
